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  光電輪廓儀-光電輪廓儀 WGL
 
測量儀器 >> 測量儀器 >> 光電輪廓儀
本儀器采用非接觸、光學(xué)相移干涉測量方法,測量時不損傷工作表面,能快速測得各種工作表面微觀形貌的立體圖形,并分析計算出測量結(jié)果。適用于測量各種量塊、光學(xué)零件表面的粗糙度;標(biāo)尺、度盤的刻線深度;光柵槽形結(jié)構(gòu);鍍層厚度和鍍層邊界處的結(jié)構(gòu)形貌;磁(光)盤、磁頭表面結(jié)構(gòu)測量;硅片表面粗糙度及圖形結(jié)構(gòu)測量等。儀器測量精度高,重復(fù)性好,具有非接觸和三維測量的特點,并采用計算機控制和快速分析、計算測量結(jié)果。本儀器適用于各級測量、計算研究單位,工礦企業(yè)計量室,精密加工車間,也適用于高等院校和科學(xué)研究單位。

技術(shù)參數(shù)
表面微觀不平深度測量范圍:1000nm~1nm
測量的重復(fù)性:δRa≤0.5nm
測量精度:8nm
物鏡倍率:40×
數(shù)值孔徑:0.65
儀器視場:目視φ0.25mm;攝像0.13×0.13mm
儀器放大倍數(shù):目視500×;攝像(計算機屏幕觀察):2500×
接收器測量陣列:1000×1000
像數(shù)尺寸:5.2×5.2μm

咨詢熱線:
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產(chǎn)品介紹本儀器采用非接觸、光學(xué)相移干涉測量方法,測量時不損傷工作表面,能快速測得各種工作表面微觀形貌的立體圖形,并分析計算出測量結(jié)果。適用于測量各種量塊、光學(xué)零件表面的粗糙度;標(biāo)尺、度盤的刻線深度;光柵槽形結(jié)構(gòu);鍍層厚度和鍍層邊界處的結(jié)構(gòu)形貌;磁(光)盤、磁頭表面結(jié)構(gòu)測量;硅片表面粗糙度及圖形結(jié)構(gòu)測量等。儀器測量精度高,重復(fù)性好,具有非接觸和三維測量的特點,并采用計算機控制和快速分析、計算測量結(jié)果。本儀器適用于各級測量、計算研究單位,工礦企業(yè)計量室,精密加工車間,也適用于高等院校和科學(xué)研究單位。

技術(shù)參數(shù)
表面微觀不平深度測量范圍:1000nm~1nm
測量的重復(fù)性:δRa≤0.5nm
測量精度:8nm
物鏡倍率:40×
數(shù)值孔徑:0.65
儀器視場:目視φ0.25mm;攝像0.13×0.13mm
儀器放大倍數(shù):目視500×;攝像(計算機屏幕觀察):2500×
接收器測量陣列:1000×1000
像數(shù)尺寸:5.2×5.2μm
產(chǎn)地China
 
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